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작성일 19.05.20 조회수 359
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에이피피, 미세 식각 가능한 대기압 플라즈마 신기술 공개
에이피피가 대기압 플라즈마를 사용한 식각(에칭) 기술을 한 단계 고도화했다. 화학용액을 사용하는 습식 식각이나 진공이 필요한 건식 식각을 대체할 수 있다.



에이피피(대표 강방권)는 절연막 식각 면적의 폭과 두께를 미세하게 조정할 수 있는 대기압 플라즈마 식각 기술을 개발했다고 20일 밝혔다. 



회사는 기존 솔루션을 업그레이드한 이 기술을 지난 'SID 디스플레이위크 2019'에서 공개하기도 했다. 



대기압 플라즈마 기술은 일반 대기압 상태에서 플라즈마를 발생시켜 공정에 적용하는 방식이다. 별도 진공장비가 필요 없어 공정이 단순해지고 생산라인에서 차지하는 비중도 줄어 전체 생산에 드는 시간과 비용을 줄일 수 있다. 



일반적으로 디스플레이 기판을 제작할 때 절연막은 마스크를 덧대 필요 없는 부분을 식각하거나 각기 반응이 다른 화학용액을 사용해 면 단위로 식각한다.



에이피피는 반응기를 세로로 설정해 마스크 없이 박막을 식각하는 기술을 고안했다. 불필요한 절연막을 깎아내기 위해 폭과 두께를 다르게 설정할 수 있도록 했다.



에이피피는 과거 대기압 플라즈마 식각 기술을 국내 패널 제조사의 유기발광다이오드176(OLED) 공정에 적용해 양산에 성공했다. 해당 패널사는 대기압 플라즈마 식각 공정을 새롭게 도입하면서 수율을 약 2~3% 개선하는 효과를 거뒀다. 이후 에이피피는 꾸준히 대기압 플라즈마 식각 기술을 국내외 패널사에 알려나가고 있다. 



에이피피 관계자는 “대기압 플라즈마 식각은 일반 습식 식각보다 처리 속도가 약 6배 빠르고 화학용액을 사용하지 않아 친환경적”이라며 “일반 건식 식각은 처리 속도가 더 느리고 진공 상태를 조성하는데 비용이 더 많이 필요한데다 생산성도 대기압 방식보다 낮다”고 설명했다. 또 “현재 대기압 플라즈마는 라인 방식 식각 기술을 구현했지만 추후에는 포인트 형태 식각까지 할 수 있도록 연구개발하고 있다”며 “마스크를 완전히 없앤 패터닝이 가능해질 것”이라고 덧붙였다. 
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